氣體控制系統(tǒng)--氣源柜

氣體控制系統(tǒng)：氣源柜

    氣源柜分為五層。頂部設(shè)置有排毒口， 用以排除在換源 過程中泄漏的有害氣體。 柜頂設(shè)置有三路工藝氣體及一路壓縮空氣的進(jìn)氣接口， 接口以下安裝有減壓閥、截止閥， 用以對(duì)進(jìn)氣壓力進(jìn)行控制及調(diào)節(jié)。對(duì)應(yīng)于氣路，各層分別裝有相應(yīng)的電磁閥、 氣動(dòng)閥、過濾器、單向閥、質(zhì)量流量控制器、 及DCE源瓶和冷阱等。柜子的底部裝有質(zhì)量流量（MFC）控制器電源、控制開關(guān)、保險(xiǎn)等電路轉(zhuǎn)接板以及設(shè)備總電源進(jìn)線轉(zhuǎn)接板。

    大連八方流體技術(shù)有限公司以全面、細(xì)致、周到的技術(shù)服務(wù)為企業(yè)核心，專業(yè)從事為普、特氣體的供氣系統(tǒng)及控制設(shè)備提供研制開發(fā)、制造安裝等技術(shù)服務(wù)。

    氣源柜作為等離子刻蝕、化學(xué)氣相沉積、金屬濺射、實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)設(shè)備等的工藝氣供氣氣源裝置，適合于輸送高純、有毒、易燃易爆、具有一般腐蝕性的介質(zhì)。根據(jù)不同使用要求可配置為手動(dòng)、自動(dòng)控制方式，及高沸點(diǎn)介質(zhì)加溫裝置。 貯氣罐 適用于貯存具有高純、有毒、易燃易爆、一般腐蝕性的半導(dǎo)體工藝氣、混合氣、標(biāo)樣氣等。

產(chǎn)品詳細(xì)描述：

產(chǎn)品標(biāo)題： 氣源柜 貯氣罐

產(chǎn)品價(jià)格： 面議

所屬分類： 高純特氣供氣系統(tǒng)

所屬行業(yè)： 氣相色譜儀

關(guān) 鍵 詞： 易燃易爆氣體,混合氣標(biāo)準(zhǔn)氣標(biāo)樣氣取樣瓶,易燃易爆氣體