配氣裝置的自動(dòng)配氣系統(tǒng)

工作原理

計(jì)算機(jī)自動(dòng)配氣裝置原理： 

本系統(tǒng)操控平臺(tái)對(duì)配氣方案實(shí)行科學(xué)化、自動(dòng)化定制，并以專用通訊電纜與計(jì)算機(jī)自動(dòng)配氣系統(tǒng)主機(jī)相連，最終通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)控高精度的質(zhì)量流量控制器MFC來(lái)控制稀釋氣體及組份氣體的體積流量，從而實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)配氣自動(dòng)化。

自動(dòng)配氣裝置： 

本系統(tǒng)主要功能分為以下幾個(gè)模塊： 

1.系統(tǒng)模塊 

系統(tǒng)模塊包括用戶登錄、注銷、修改密碼、退出系統(tǒng)以及設(shè)置MFC參數(shù)等功能。 

2.管理模塊 

管理模塊實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的日常管理工作以及本系統(tǒng)使用時(shí)所涉及的氣體、鋼瓶的管理，包括用戶管理、日志管理、氣體管理、鋼瓶管理、滲透氣體管理。 

①用戶管理： 

實(shí)現(xiàn)對(duì)使用本系統(tǒng)的用戶進(jìn)行管理，可以新增用戶、修改用戶資料、從系統(tǒng)中刪除用戶，以及對(duì)用戶進(jìn)行權(quán)限分級(jí)，不同級(jí)別的用戶擁有不同的操作權(quán)限。 

②日志管理： 

可對(duì)本系統(tǒng)的運(yùn)行日志進(jìn)行多條件組合查詢并可進(jìn)行數(shù)據(jù)整理，運(yùn)行日志分為通訊日志和操作日志。 

③氣體管理 

詳列常用的各種氣體相應(yīng)物理特性,可新增新種氣體并設(shè)置其相應(yīng)的物理特性。 

④鋼瓶管理 

可對(duì)配氣操作過(guò)程中將被使用的氣體鋼瓶進(jìn)行設(shè)置定義。 

⑤滲透氣體管理 

可對(duì)按滲透法配氣的氣體進(jìn)行設(shè)置定義。 

3.配氣模塊 

配氣模塊實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)自動(dòng)配氣操作并實(shí)時(shí)監(jiān)視其工作狀態(tài)。分為滲透模式、流量模式、濃度模式、分配模式、程序模式、清掃模式。 

①滲透模式： 

提供一個(gè)按滲透法進(jìn)行混合配氣的配氣方案?？赏ㄟ^(guò)設(shè)定滲透氣體的濃度，達(dá)到滲透氣體的濃度配比，并實(shí)時(shí)監(jiān)視配氣的實(shí)際情況。 

②流量模式： 

按直接設(shè)定各路氣體流量方式配氣，并實(shí)時(shí)反饋對(duì)應(yīng)氣體的流量信息。 

③濃度模式： 

按設(shè)定所需成份氣體的目標(biāo)濃度和氣體總流量方式配氣，并實(shí)時(shí)反饋對(duì)應(yīng)成份氣體的濃度信息。 

④分配模式： 

提供一個(gè)自動(dòng)的氣體多點(diǎn)稀釋方案。它可實(shí)現(xiàn)將兩種氣體混合稀釋為不同的多種濃度配比并分別保證一定的輸出時(shí)間，實(shí)時(shí)監(jiān)視各濃度配比的實(shí)際情況。 

⑤程序模式： 

制定綜合配氣計(jì)劃。允許將各基本模式(滲透模式、流量模式、濃度模式、分配模式)組合一起形成操作序列。各個(gè)操作序列按照規(guī)定的時(shí)間順序完成。 

⑥清掃模式 

執(zhí)行質(zhì)量流量控制器的清掃操作。

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