氣體純化器基質(zhì)是一種無揮發(fā)性的吸附性合金

  一種具有進(jìn)氣口、出氣口、氣體凈化裝置的氣體凈化裝置，包括通過管道依次連接的加熱裝置、除烴反應(yīng)器、除氧反應(yīng)器、冷卻器、干吸附器、加熱裝置、除烴反應(yīng)器、除氧反應(yīng)器、冷卻器、干吸附器均有進(jìn)氣端和出氣端，加熱裝置的進(jìn)氣端與進(jìn)氣口連接，加熱裝置的出氣端與除烴反應(yīng)器的進(jìn)氣端連接，除烴反應(yīng)器的出氣端與除氧反應(yīng)器的進(jìn)氣端連接，除氧反應(yīng)器的出氣端與冷卻器的進(jìn)氣端連接，冷卻器的出氣端與干吸附器的進(jìn)氣端連接，干吸附器的出氣端與出氣口連接；除烴反應(yīng)器裝有CHO型脫烴劑，除氧反應(yīng)器裝有高效催化劑。本實用新型工藝簡單，操作簡單，可靠性高，可獲得小氣量高純度氣體，具有很大的推廣價值。

  氣體純化器的純化基質(zhì)是一種無揮發(fā)性吸附合金，熔化性好，穩(wěn)定性高，使用安全簡單?？蓪崿F(xiàn)5n秒到9n，使純化性能有質(zhì)的飛躍。當(dāng)您的儀器配備*雙段加熱吸收技術(shù)（單段可選）純化系統(tǒng)時，可有效提高性能和使用壽命?？捎糜诔⒘克⒀醴治鰞x、氣相色譜儀（GC）、常壓離子質(zhì)譜儀（APIMS）等氣體分析儀，也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的氬氣和驗收中的吹掃氣體；為許多半導(dǎo)體工藝設(shè)備提供超高純度的工藝氣體。