關(guān)于氣體純化裝置的純化工藝流程

氣體純化裝置其純化工藝流程：以99.9%氮?dú)鉃樵?，采用燃燒法直接除去氧雜質(zhì)。將99.9%氮?dú)馔ㄈ胙b有3093型脫氧劑的脫氧塔，在350℃下氧氣中的氧與脫氧劑上的碳發(fā)生氧化(燃燒)反應(yīng)生成二氧化碳，從而完全除去氧雜質(zhì)。 本裝置由流量計、電磁閥、熱交換器、脫氧塔、干燥塔、管道氣動閥、水冷卻器及控制系統(tǒng)組成。由可編程序控制系統(tǒng)按設(shè)定程序控制電磁閥管道氣動閥及電加熱溫度自動控制，從而實(shí)現(xiàn)全自動操作，同時設(shè)有氣體故障和冷卻水故障報警、停機(jī)裝置。通常適用于含有雜質(zhì)氧氣≤0.1%的氮、二氧化碳等氣體進(jìn)行脫氧處理，可以獲得高純氣體產(chǎn)品。

該裝置包括加熱器、催化氧化器、水冷卻器、第一高效脫氧器、第二高效脫氧器和分子篩吸附器等結(jié)構(gòu)，原料氣首先進(jìn)入加熱器加熱，然后進(jìn)入催化氧化器中催化氧化，之后經(jīng)催化氧化的氣體進(jìn)入水冷卻器中與冷卻水進(jìn)行熱交換，接著進(jìn)入第一高效脫氧器或第二高效脫氧器脫除氧氣，然后進(jìn)入分子篩吸附器中吸附，最后進(jìn)行檢測，如果檢測合格，則得到超高純氣體，本發(fā)明結(jié)合催化氧化、化學(xué)反應(yīng)、物理吸附三種原理，深度純化原料氣體，除去普通氣體中的C5以上烴類組分，達(dá)到超高純級別，滿足特殊儀器的用途，實(shí)現(xiàn)了超高純氣體的批量化生產(chǎn)，提升凈化效率，增加超高純氣體的產(chǎn)量。