超高純供氣系統(tǒng)電子管路安裝方法

    超高純電子特氣管道系統(tǒng)的真正含義 半導(dǎo)體,集成電路,供氣系統(tǒng)管路安裝生物制約行業(yè)輸送超純介質(zhì)(氣體)的高純氣體管路是一種綜合考慮組織安定性,耐蝕性,加工性的最優(yōu)化。

    外在的純凈,有別于傳統(tǒng)不銹鋼管道內(nèi)外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感覺,現(xiàn)在的超純氣體管道不僅有锃亮的外表,同時(shí)也有較好的內(nèi)表面粗糙度, 供氣系統(tǒng)管路安裝以確保管道系統(tǒng)對(duì)傳輸?shù)慕橘|(zhì)保持中立以及保證最佳的徹底吹掃及清洗性能, 現(xiàn)在工程師及技術(shù)人員常常提及的表面粗糙度Ra 值就是對(duì)管道系統(tǒng)內(nèi)表面粗糙度的基本要求。為了確保自動(dòng)軌道焊接的質(zhì)量和效率,尺寸公差當(dāng)然也是最基本的要求。 

    真正意義上的超純,氣體管道僅有漂亮的內(nèi)外表面是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的,對(duì)管道系統(tǒng)的材質(zhì)也有非?？量虈?yán)格的要求,無論對(duì)化學(xué)成分和機(jī)械性能都有一定的定義。所以我們提到的純凈管道是由純凈的316L制成,指不銹鋼中的不純物盡量降到一定范圍內(nèi),非金屬夾雜物以及氣體成分控制在最小極限，而高純潔凈管的級(jí)別可分為BA和EP級(jí)，超高純電子特氣管道系統(tǒng)用的一般是316LEP級(jí)的不銹鋼管，就是電解拋光不銹鋼管。