擴(kuò)散爐和氣源柜設(shè)備一級保養(yǎng)計劃是什么

擴(kuò)散爐和氣源柜設(shè)備一級保養(yǎng)計劃是什么

一  制絨機(jī)與二次清洗機(jī)

1）檢查管路是否泄漏。氣管是否漏氣。

2）檢查機(jī)械臂掛鉤是否緊固。

3）檢查排液管道是否通暢。

4）手動點檢各氣動閥門是否能正常工作。

5）檢查泵頭管路是否被堵死。

6）檢查排液和進(jìn)液氣動閥是否能正常工作，是否存在關(guān)不嚴(yán)的現(xiàn)象。

7）每班清理槽蓋上的碎片，堿等。

8）檢查機(jī)械臂運行是否平穩(wěn)。

9）每次排水后應(yīng)檢查進(jìn)出水口是否堵塞，及時清理殘留物，以免管道堵塞物越積越多，反而造成以后的管道維修工作量加大。

10）停機(jī)前把設(shè)備槽里的液體排掉。

11）每次停機(jī)前清洗設(shè)備內(nèi)外。

12）經(jīng)常檢查過濾減壓閥中是否存儲過量的水，必要時將其排除。

二  擴(kuò)散爐

1）設(shè)備的工作環(huán)境應(yīng)長期保持清潔、干躁，凈化工作臺、氣源柜應(yīng)經(jīng)常擦抹，保持?jǐn)U散環(huán)境及工藝片不受污染。

2）操作員每天下班前半小時，必須將擴(kuò)散爐托盤等機(jī)械上的偏磷酸等雜物用異丙醇擦洗干凈。

3）爐體柜的廢氣室及凈化操作臺上的工藝廢液要隨時擦除，以防止對人員及設(shè)備造成損害。

4）操作員每天下班前半小時，需將爐口、爐門、爐尾工作臺上的雜物清洗干凈，

5）操作員需每天清潔機(jī)器底下面的垃圾灰塵。

6）操作員每天交接班時需檢查各氣體壓力是否達(dá)到要求。壓縮空氣0.6Mpa，高純N2 、高純O2等各種氣體進(jìn)氣壓力設(shè)定值（氣源柜減壓閥表讀數(shù)）均應(yīng)在0.35～0.45Mpa 之內(nèi)，有異常及時向上級報告和處理。

7）操作員每天接班時需檢查冷卻水是否正常（把進(jìn)出水閥一關(guān)一開，聽其是否有水聲）。

8）操作員需每天檢查氣源柜內(nèi)的尾氣廢液排放情況，并及時清理和清洗排氣管內(nèi)的殘留液，防止由于廢液凝結(jié)而堵塞排放管道。

9）發(fā)現(xiàn)機(jī)器內(nèi)部有異常響聲或異常味道及時向上級報告和處理。

10）在相隔一天以上的工藝之間（或者只白天做工藝，晚上不工作），可不必停爐而設(shè)置保溫，爐子最佳保溫溫度為500～600℃，這樣可延長加熱器的使用壽命。

11）設(shè)備長期不使用時，應(yīng)該每隔一星期通電運行一次，防止器件受潮失效。

三  刻蝕機(jī)

1）每天用酒精棉擦拭反應(yīng)室里面。

2）每天檢查反應(yīng)室門是否貼合。

3）經(jīng)常清理設(shè)備表面及底下的灰塵及臟物。

四  甩干機(jī)

1）檢查氮氣壓力是否正常

2）檢查加熱油液位是否正常，是否會漏油。

3）檢查運行時是否有震動或者異響。

4）及時清理里面的碎片。

5）每天運行前檢查里面金屬條是否掉落，螺絲是否松動。

6）經(jīng)常清潔設(shè)備。

五  PECVD

1）每天下班前要清理爐口及爐內(nèi)的碎片。

2）經(jīng)常對設(shè)備內(nèi)部，表面，底部清理。

3）經(jīng)常注意工藝?yán)鋮s水溫度及氮氣壓力。

4）檢查排風(fēng)是否正常。

5）檢查爐口舟感應(yīng)開關(guān)是否正常。