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氣源柜式特種氣體配置應用是在輸入過程中的主要技術特點、質量標準及工作原理是什么?

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氣源柜式特種氣體配置應用是在輸入過程中的主要技術特點、質量標準及工作原理是什么?

發(fā)布日期:2015-12-19 00:00 來源:http://ailampled.com 點擊:

氣源柜

氣源柜式特種氣體配置應用是在輸入過程中的主要技術特點、質量標準及工作原理是什么?

氣源柜

產品簡介:設備用于放置工藝氣體源瓶。

 

產品詳細描述:

1、柜內可放置多個氣源瓶;

2、配有相應氣體的控制氣路板;

3、管路上配有閥門及接頭,有國產件及進口件兩種配置;

4、柜體密封性好,頂部裝有排風口,保證安全。


氣源柜式特種氣體配置應用是在輸入過程中,對氣壓調解,流量控制,氣體純度保 ,人體安全保障等必備的關鍵性設備。不同生產工藝所使用的氣體不同,氣源柜功能也各有特異。


氣瓶柜/氣瓶架采用國際通行的質量標準及工作原理,保證高純易燃易爆腐蝕有毒氣體安全地為相應的設備提供工藝氣體。  

功能:正常工藝供氣、換瓶的抽空回充、工藝結束的排空回充及正常使用的工作狀態(tài)指示、異常報警(如負壓異常、泄露、煙霧火等等)及相應的安全關聯響應等。排空一般采用的是文丘里原理(根據客戶要求可采用真空泵排空方式等)。  

氣瓶柜裝有安全防爆玻璃,氣路管件均采用進口優(yōu)質的管道(EP級SWAGELOK自動軌道焊接等)、閥門、VCR接口均采用SWAGELOK、 PARK及APTECH ,泄漏檢測、延誤火報警均采用優(yōu)質品牌。  


主要技術特點  

◆按瓶數分類:單瓶柜(架)/二瓶柜(架)/三瓶柜(架)/四瓶柜(架)  

◆按氣體分類:氣瓶柜(易燃易爆腐蝕有毒高純氣體)、氣瓶架(高純氣體,如高純氧氣、氬氣等)  

◆完善的安全報警裝置,具有氣體泄漏檢測報警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警)、煙霧、火報警等  

◆控制方式:“觸摸屏+PLC”全自動控制(含手動控制)  

◆氣路管件:全部進口,管道為EP級(CARDINAL/SANDVIK)、 閥門焊接頭為 SWAGELOK或相當、減壓閥為PARK或相當、全部VCR接口及自動軌道焊接  

◆氣瓶柜留有排氣口,并具有負壓檢測  

◆氣路設計合理完善,工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能  

◆氣瓶柜內裝有氣瓶稱重裝置,可即時觀察氣瓶重量


氣源柜作為等離子刻蝕、化學氣相沉積、金屬濺射、實驗室檢測設備等的工藝氣供氣氣源裝置,適合于輸送高純、有毒、易燃易爆、具有一般腐蝕性的介質。根據不同使用要求可配置為手動、自動控制方式,及高沸點介質加溫裝置。 貯氣罐 適用于貯存具有高純、有毒、易燃易爆、一般腐蝕性的半導體工藝氣、混合氣、標樣氣等。

相關標簽:氣體純化裝置

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