氣源柜式特種氣體配置應用是在輸入過程中的主要技術特點、質量標準及工作原理是什么？

氣源柜式特種氣體配置應用是在輸入過程中的主要技術特點、質量標準及工作原理是什么？

氣源柜

產品簡介：設備用于放置工藝氣體源瓶。

產品詳細描述：

1、柜內可放置多個氣源瓶；

2、配有相應氣體的控制氣路板；

3、管路上配有閥門及接頭，有國產件及進口件兩種配置；

4、柜體密封性好，頂部裝有排風口，保證安全。

氣源柜式特種氣體配置應用是在輸入過程中，對氣壓調解，流量控制，氣體純度保 ，人體安全保障等必備的關鍵性設備。不同生產工藝所使用的氣體不同，氣源柜功能也各有特異。

氣瓶柜/氣瓶架采用國際通行的質量標準及工作原理，保證高純易燃易爆腐蝕有毒氣體安全地為相應的設備提供工藝氣體。  

功能：正常工藝供氣、換瓶的抽空回充、工藝結束的排空回充及正常使用的工作狀態(tài)指示、異常報警（如負壓異常、泄露、煙霧火等等）及相應的安全關聯響應等。排空一般采用的是文丘里原理（根據客戶要求可采用真空泵排空方式等）。  

氣瓶柜裝有安全防爆玻璃，氣路管件均采用進口優(yōu)質的管道（EP級SWAGELOK自動軌道焊接等）、閥門、VCR接口均采用SWAGELOK、 PARK及APTECH ，泄漏檢測、延誤火報警均采用優(yōu)質品牌。  

主要技術特點  

◆按瓶數分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架）  

◆按氣體分類：氣瓶柜（易燃易爆腐蝕有毒高純氣體）、氣瓶架（高純氣體，如高純氧氣、氬氣等）  

◆完善的安全報警裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警）、煙霧、火報警等  

◆控制方式：“觸摸屏+PLC”全自動控制（含手動控制）  

◆氣路管件：全部進口，管道為EP級（CARDINAL/SANDVIK）、 閥門焊接頭為 SWAGELOK或相當、減壓閥為PARK或相當、全部VCR接口及自動軌道焊接  

◆氣瓶柜留有排氣口，并具有負壓檢測  

◆氣路設計合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能  

◆氣瓶柜內裝有氣瓶稱重裝置，可即時觀察氣瓶重量

氣源柜作為等離子刻蝕、化學氣相沉積、金屬濺射、實驗室檢測設備等的工藝氣供氣氣源裝置，適合于輸送高純、有毒、易燃易爆、具有一般腐蝕性的介質。根據不同使用要求可配置為手動、自動控制方式，及高沸點介質加溫裝置。 貯氣罐 適用于貯存具有高純、有毒、易燃易爆、一般腐蝕性的半導體工藝氣、混合氣、標樣氣等。