配氣裝置的主要工作原理

    配氣裝置主要是針對實驗室及各種環(huán)境下所需要的模擬氣體成分。依據比例自行設置混合輸出的裝置。主要核心部件為質量流量控制器，利用其高精度、高準確性的特點，精確控制各個氣體組成成分的輸入量，經由專業(yè)設計及生產的混氣腔室后輸出。

特氣自動配氣（稀釋）裝置?

使用氣體：硅烷、硼烷、磷烷、氯氣等特殊氣體?工作壓差：（0.1~0.3）Mpa?最高使用壓力：1Mpa?

單元控制精度：±1%S.P（設定點）?工作溫度：?-20℃~70℃?單元流量：2SCCM??~?10SLM?

主要技術特性

流量范圍：（樣氣＋稀釋氣）（0－5000）ml/min （任選）

濃度范圍：通過選擇組分氣體的含量便可配制出10-8－百分含量的任何標準氣體，隨意可調

流量精度（重復性）：＜0.5%

轉換濃度響應時間：＜60s

配氣不確定度：＜1.5%

預熱時間：＜30min

使用環(huán)境溫度：0～40℃（最佳溫度25±5℃）

尺寸：450×400×180mm

電源：220VAC    50/60Hz